問答題

【簡(jiǎn)答題】例舉硅片制造廠房中的7種玷污源。

答案： 硅片制造廠房中的七中沾污源：
（1）空氣：凈化級(jí)別標(biāo)定了凈化間的空氣質(zhì)量級(jí)別，它是由凈化室空氣中的顆粒尺寸和密...
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【簡(jiǎn)答題】什么是硅片的自然氧化層？由自然氧化層引起的三種問題是什么？
答案： 自然氧化層：如果曝露于室溫下的空氣或含溶解氧的去離子水中，硅片的表面將被氧化。這一薄氧化層稱為自然氧化層。硅片上最初的自...
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【簡(jiǎn)答題】對(duì)凈化間做一般性描述。
答案： 凈化間是硅片制造設(shè)備與外部環(huán)境隔離，免受諸如顆粒、金屬、有機(jī)分子和靜電釋放（ESD.的玷污。一般來講，那意味著這些玷污在...
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