超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)由哪幾個功能單元組成？

電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工

下列四個機(jī)構(gòu)選項(xiàng)中，哪個機(jī)構(gòu)選項(xiàng)是具有誤差均化效果（）。

光電成形

影響電解拋光質(zhì)量的因素有哪些？

在剛玉類磨料中，以（）最好。

下列超精密機(jī)床主軸部件中，受溫升影響主軸精度最大的軸承是（）。

決定金剛石晶體各向異性的因素是（）。

電解加工細(xì)長孔、窄縫以及對鍺、鉬、鈮等金屬的加工時(shí)，可采用哪種電解液（）。

影響電解研磨加工速度及表面質(zhì)量的因素有哪些？